東朋テクノロジーが製造販売権を取得した半導体検査装置

産業機器メーカーの東朋テクノロジー(名古屋市)は半導体分野の検査装置を手掛ける米社から製造販売権を取得した。半導体市場が成長しており、企業や大学が検査装置を研究に活用する需要が高まっている。東朋テクノは半導体検査装置事業に力を入れており、自社で製造して商品群を広げる。

米シリコンバレーに拠点を置くオントゥ・イノベーションから研究施設などで使われる検査装置「ECV Pro+(プロ・プラス)」の技術を取り込む。東朋テクノは半導体検査装置などを手掛ける愛知県稲沢市内の工場で同製品を製造する。

同装置は半導体の製造過程で使われる材料の不純物の濃度を測定する。部材の表面を溶かしながら測定できる装置は珍しく、高いシェアを持つという。今後は東朋テクノグループの米国拠点などを通じて販売する。

東朋テクノは2019年にもオントゥ・イノベーションから半導体材料の電流の流れやすさを測定する装置の製造販売権を得ている。同じく研究施設向けで、同市場を開拓している。

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