三菱ケミカルグループは10日、半導体製造で使われる水を精製する樹脂の生産能力を増強すると発表した。水に含まれる不純物を取り除く樹脂で需要が高まっている。投資額は約10億円で、2026年4月の稼働を目指す。
北九州市の工場でイオン交換樹脂の生産を増やすために設備を増強する。同樹脂は半導体製造の洗浄工程で必要な不純物が限りなくゼロに近い「超純水」の製造に使われる。増強後の生産能力は明らかにしていない。
三菱ケミカルGは半導体向けの材料を強化している。回路を形成する際に使われるフォトレジスト（感光材）向け樹脂でも北九州市に工場の新設を決め、既存拠点とあわせて生産能力を2倍以上に増やし、25年秋の稼働を予定している。
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