日本酸素ホールディングス傘下の大陽日酸（東京・品川）は13日、半導体関連装置の研究開発拠点を北九州学術研究都市（北九州市）の技術開発交流センター内に開設した。ウエハーの洗浄装置などの開発に取り組む。同社にとって西日本初の研究拠点で、顧客へのデモンストレーションや学生との接点としても活用する。
まず大型のシリコン製ウエハーの洗浄装置を12月にも開発する。ドライアイスの粒子を噴射し、昇華させて小さなごみを取り除く。有機溶剤を使わないので廃液の処理や乾燥工程が不要になる。さらにパワー半導体に使う炭化ケイ素（SiC）や窒化ガリウム（GaN）などの化合物半導体のウエハーにも使えるようにする。
拠点にはペースト状にしたステンレスやニッケル系合金で成形する3次元（3D）プリンターのデモ機も置く。アルゴンガスを充填した炉で焼結して、金属の酸化を防ぐ。治具の試作品などが簡単に製作できる。
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