堀場製作所、半導体製造用に洗浄液の高速測定装置

堀場製作所は19日、半導体製造工程で使う洗浄液を検査する新装置「CS-1000」を開発したと発表した。半導体製造装置に後付けして洗浄液の濃度や成分を高速で連続測定できる。希望販売価格は6000万円（税別）からで、2028年までに累計250台の販売を目指す。

装置は薬液に光を当て、その吸収度合いから濃度などを測る。独自の解析技術でごく微量な成分などを6秒おきに連続で測り、品質を確認できるようにした。半導体製造では工程間で何度もシリコン基板を洗浄する必要があり、洗浄液の成分にも高度な管理が求められるようになっている。

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